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文献
J-GLOBAL ID：202102243764695911
整理番号：21A2988309
白色光干渉法のための走査誤り検出と補償アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】
Scanning error detection and compensation algorithm for white-light interferometry
Cui Kaihua
(Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
,
Liu Qian
(Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
,
Huang Xiaojin
(Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
,
Zhang Hui
(Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
,
Li Lulu
(Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
資料名：
Optics and Lasers in Engineering
(Optics and Lasers in Engineering)
巻： 148 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： A0602B ISSN： 0143-8166 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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