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文献
J-GLOBAL ID：202102244890740051
整理番号：21A0012975
1.3mdps/Hz ARWと0.5°/h安定性を持つNEMSセンシングに基づく50kHz MEMSジャイロスコープ【JST・京大機械翻訳】
50-kHz MEMS gyroscopes based on NEMS sensing with 1.3 mdps/ Hz ARW and 0.5°/h stability
Gadola M.
(Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy)
,
Maspero F.
(Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy)
,
Langfelder G.
(Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy)
,
Sansa M.
(Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France)
,
Verdot T.
(Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France)
,
Berthelot A.
(Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France)
,
Robert P.
(Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： SENSORS ページ： 1-4 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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