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文献
J-GLOBAL ID:202102246801331748   整理番号:21A0988343

CMOS互換スカンジウムドープ窒化アルミニウムPMUTアレイによる多周波数イメージング【JST・京大機械翻訳】

Multi-Frequency Imaging with a CMOS Compatible Scandium Doped Aluminum Nitride PMUT Array
著者 (7件):
Billen Margo
(Imec,Leuven,Belgium)
Gao Hang
(Imec,Leuven,Belgium)
Tabruyn Dries
(Imec,Leuven,Belgium)
Marigo Eloi
(SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia)
Soundara-Pandian Mohan
(SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia)
Helin Philippe
(Imec,Leuven,Belgium)
Rochus Veronique
(Imec,Leuven,Belgium)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2021  号: MEMS  ページ: 907-910  発行年: 2021年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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