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文献
J-GLOBAL ID：202102246801331748
整理番号：21A0988343
CMOS互換スカンジウムドープ窒化アルミニウムPMUTアレイによる多周波数イメージング【JST・京大機械翻訳】
Multi-Frequency Imaging with a CMOS Compatible Scandium Doped Aluminum Nitride PMUT Array
Billen Margo
(Imec,Leuven,Belgium)
,
Gao Hang
(Imec,Leuven,Belgium)
,
Tabruyn Dries
(Imec,Leuven,Belgium)
,
Marigo Eloi
(SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia)
,
Soundara-Pandian Mohan
(SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia)
,
Helin Philippe
(Imec,Leuven,Belgium)
,
Rochus Veronique
(Imec,Leuven,Belgium)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2021 号： MEMS ページ： 907-910 発行年： 2021年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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