前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：202102249043887475
整理番号：21A0011565
mSAP生産の高プロセス清浄度要求に合致する新しい酸化物置換プロセスの開発【JST・京大機械翻訳】
The development of a new oxide replacement process to meet the high process cleanliness requirements of mSAP Production
Geibel Barbara
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Tang Felix
(Atotech China Chemicals Ltd, 73 Xinzhuang 2-Lu, Tonghe district, GETDD,Guangzhou,China,511356)
,
Thomas Thomas
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Michalik Fabian
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Gaida Josef
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Gil-Ibanez Belen
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Zou Yuan
(Atotech China Chemicals Ltd, 73 Xinzhuang 2-Lu, Tonghe district, GETDD,Guangzhou,China,511356)
,
Kim Ken
(Atotech China Chemicals Ltd, 73 Xinzhuang 2-Lu, Tonghe district, GETDD,Guangzhou,China,511356)
,
Huelsmann Thomas
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
,
Brooks Patrick
(Atotech Deutschland GmbH, Erasmusstras&e 20,Berlin,Germany,10553)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： IMPACT ページ： 137-145 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。