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文献
J-GLOBAL ID：202102253446194464
整理番号：21A0159330
ポリシリコン切削におけるナノ炭化ケイ素水ベース切削流体に関する研究【JST・京大機械翻訳】
Study on nano silicon carbide water-based cutting fluid in polysilicon cutting
Yao Chunyan
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Yao Chunyan
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
,
Chen Dongdong
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Chen Dongdong
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
,
Xu Kaixiang
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Xu Kaixiang
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
,
Zheng Zhongli
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Zheng Zhongli
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
,
Wang Qiangsheng
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Wang Qiangsheng
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
,
Liu Yunfeng
(College of Mechanical Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, 310023, China)
,
Liu Yunfeng
(National International Joint Research Center of Special Purpose Equipment and Advanced Processing Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 123 ページ： Null 発行年： 2021年
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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