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文献
J-GLOBAL ID：202102258295654936
整理番号：21A0305707
ガス希薄化におけるMEMSカンチレバービーム共振器の品質に及ぼす環境条件の影響【JST・京大機械翻訳】
Effect of Environmental Conditions on Quality Factors of MEMS Cantilever Beam Resonator in Gas Rarefaction
Phan Minh Truong
(Institute for Computational Science and Technology, Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Trinh Xuan Thang
(The Research Laboratories of Saigon High-Tech-Park, Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Le Quoc Cuong
(Department of Information and Communications, Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Ngo Vo Ke Thanh
(The Research Laboratories of Saigon High-Tech-Park, Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Nguyen Chi Cuong
(Institute for Computational Science and Technology, Ho Chi Minh City, Vietnam)
,
Nguyen Chi Cuong
(The Research Laboratories of Saigon High-Tech-Park, Ho Chi Minh City, Vietnam)
資料名：
Sensing and Imaging
(Sensing and Imaging)
巻： 22 号： 1 ページ： 6 発行年： 2021年
JST資料番号： W4938A ISSN： 1557-2072 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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