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文献
J-GLOBAL ID：202102261118365846
整理番号：21A0149960
Soak Annealプロセスにおける国内機械大規模生産の調査【JST・京大機械翻訳】
The Investigation of Domestic Machines Large-Scale Production in Soak Anneal Process
Yaoting Shen
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Lan Jiang
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Yan Gui
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Qingwei Dong
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Kechen Chen
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Xinhua Cheng
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Jingxun Fang
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation,Shanghai,China,201210)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： CSTIC ページ： 1-3 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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