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文献
J-GLOBAL ID：202102261783401986
整理番号：21A2563607
ステッパリソグラフィーを用いたFBKにおける先進シリコン3Dセンサの開発【JST・京大機械翻訳】
Development of Advanced Silicon 3D Sensors at FBK Using Stepper Lithography
Boscardin Maurizio
(TIFPA-INFN,Fondazione Bruno Kessler,Trento,Italy,I-38123)
,
Ficorella Francesco
(TIFPA-INFN,Fondazione Bruno Kessler,Trento,Italy,I-38123)
,
Ronchin Sabina
(TIFPA-INFN,Fondazione Bruno Kessler,Trento,Italy,I-38123)
,
Ferrari Sara
(Fondazione Bruno Kessler,Trento,Italy,I-38123)
,
Mendicino Roberto
(Fondazione Bruno Kessler,Trento,Italy,I-38123)
,
Lai Adriano
(INFN Sezione di Cagliari,Monserrato,CA,Italy,I-09042)
,
Meschini Marco
(INFN Sezione di Firenze,Sesto Fiorentino,Italy,I-50019)
,
Abdulla Samy Md. Arif
(TIFPA-INFN, and with Universita` di Trento,Trento,Italy,I-38123)
,
Betta Gian-Franco Dalla
(TIFPA-INFN, and with Universita` di Trento,Trento,Italy,I-38123)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： NSS/MIC ページ： 1-3 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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