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文献
J-GLOBAL ID：202102262686062320
整理番号：21A2925056
触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶表面の作製
Fabrication of atomically smooth polycrystalline surface without grain boundary steps by using catalyst-referred etching method
藤大雪
(大阪大 大学院工学研究科)
,
VAN BUI Pho
(大阪大 大学院工学研究科)
,
松山智至
(大阪大 大学院工学研究科)
,
佐野泰久
(大阪大 大学院工学研究科)
,
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)
(精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2021 号： 秋季 ページ： ROMBUNNO.B27 発行年： 2021年09月08日
JST資料番号： Y0914B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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