文献
J-GLOBAL ID:202102264512891966
整理番号:21A0149989
インライン計測のための波面位相イメージングを用いたシリコンウエハ上の高速ウエハ形状【JST・京大機械翻訳】
High Speed Wafer Geometry on Silicon Wafers Using Wave Front Phase Imaging for Inline Metrology
著者 (3件):
Trujillo-Sevilla J.M.
(Wooptix La Laguna,Tenerife,Spain)
,
Ramos-Rodriguez J.M.
(Wooptix La Laguna,Tenerife,Spain)
,
Gaudestad J.
(Wooptix La Laguna,Tenerife,Spain)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
CSTIC
ページ:
1-3
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)