文献
J-GLOBAL ID:202102266692245019
整理番号:21A0984714
モバイルSoCと高性能計算応用のための完全開発EUVと高移動度チャネルを有する5μm世代FinFETを特徴とする信頼性強化5nmCMOS技術【JST・京大機械翻訳】
A Reliability Enhanced 5nm CMOS Technology Featuring 5th Generation FinFET with Fully-Developed EUV and High Mobility Channel for Mobile SoC and High Performance Computing Application
著者 (16件):
Liu J.C.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Mukhopadhyay S.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Kundu Amit
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Chen S.H.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Wang H.C.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Huang D.S.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Lee J.H.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Wang M.I.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Lu Ryan
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Lin S.S.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Chen Y.M.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Shang H.L.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Wang P.W.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Lin H.C.
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
Yeap Geoffrey
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
,
He Jun
(ATQRD, TSMC,Hsinchu,Taiwan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IEDM
ページ:
9.2.1-9.2.4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)