文献
J-GLOBAL ID:202102270958108097
整理番号:21A1958957
DCNNモデルに基づくウエハ欠陥分類【JST・京大機械翻訳】
Wafer Defect Classification Based on DCNN Model
著者 (10件):
Tian Pan
(Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China)
,
Li Chen
(Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China)
,
Fu Hao
(Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China)
,
Yu Xueru
(Shanghai Integrated Circuits R&D Center Co., Ltd.,Shanghai,China)
,
Wei Zhengying
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
,
Ni Qiliang
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
,
Chen Xu
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
,
Ding Yunwei
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
,
Xu Ruojia
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
,
Sun Rui
(Shanghai HLMC,Shanghai,China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2021
号:
CSTIC
ページ:
1-3
発行年:
2021年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)