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文献
J-GLOBAL ID：202102271658395675
整理番号：21A0984891
近メモリ計算マクロによる超高速レーザアニールモノリシック3DゲートオールアラウンドCMOS論理とFeFETメモリの最初の実証【JST・京大機械翻訳】
First Demonstration of Ultrafast Laser Annealed Monolithic 3D Gate-All-Around CMOS Logic and FeFET Memory with Near-Memory-Computing Macro
Hsueh Fu-Kuo
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Hung Je-Min
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Huang Sheng-Po
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Huang Yen-Hsiang
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Xue Cheng-Xin
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Shen Chang-Hong
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Shieh Jia-Min
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Chiu Wen-Cheng
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Lin Chao-Cheng
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Chen Bo-Yuan
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Liu Szu-Ching
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Chen Shih-Wei
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Niou Deng-Yan
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Huang Wen-Hsien
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Li Kai-Shin
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Lin Kun-Kin
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Chang Da-Chiang
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Chen Kun-Ming
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Huang Guo-Wei
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
,
Pan Ci-Ling
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Chang Meng-Fan
(National Tsing Hua University,Hsinchu,Taiwan)
,
Hu Chenming
(National Chiao Tung University,Hsinchu,Taiwan)
,
Yeh Wen-Kuan
(Taiwan Semiconductor Research Institute,Hsinchu,Taiwan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： IEDM ページ： 40.4.1-40.4.4 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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