文献
J-GLOBAL ID:202102281615409603
整理番号:21A0131757
3D11 半導体デバイス作製教材の改良
3D11 Improvement of an Educational Resource of Semiconductor Device Fabrication
著者 (3件):
辻琢人
(鈴鹿工業高等専門学校電気電子工学科)
,
長岡史郎
(香川高等専門学校電子システム工学科)
,
若原昭浩
(豊橋技術科学大学工学研究科電気・電子情報工学系)
資料名:
工学教育研究講演会講演論文集(Web)
(工学教育研究講演会講演論文集・年次大会プログラム(Web))
巻:
2020
ページ:
272-273(J-STAGE)
発行年:
2020年
JST資料番号:
U2037A
ISSN:
2424-1458
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)