文献
J-GLOBAL ID:202102282826960509
整理番号:21A0449492
リソグラフィーにより作製したシリコン浸漬格子の精密ブレーズ角測定【JST・京大機械翻訳】
Precise blaze angle measurements of lithographically fabricated silicon immersion gratings
著者 (6件):
Lubar Emily
(The Univ. of Texas at Austin (United States))
,
Jaffe Daniel T.
(The Univ. of Texas at Austin (United States))
,
Brooks Cynthia B.
(The Univ. of Texas at Austin (United States))
,
Hickman Sierra
(Univ. of Canterbury (New Zealand))
,
Mace Gregory
(The Univ. of Texas at Austin (United States))
,
Gully-Santiago Michael
(The Univ. of Texas at Austin (United States))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11451
ページ:
114515I-9
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)