文献
J-GLOBAL ID:202102287454426877
整理番号:21A0241613
磁気レオロジー研磨に基づく小空間周期位相要素の作製法【JST・京大機械翻訳】
Method for fabricating small space period phase elements based on magnetorheological polishing
著者 (4件):
Tang Caixue
(China Academy of Engineering Physics (China))
,
Wen Shenglin
(China Academy of Engineering Physics (China))
,
Zhang Yuanhang
(China Academy of Engineering Physics (China))
,
Yan Hao
(China Academy of Engineering Physics (China))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11617
ページ:
116172X-12
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)