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文献
J-GLOBAL ID：202202213649915663
整理番号：22A0682421
Hall効果スラスタへの高温関連性におけるBNSiO_2(Borosil)のスパッタリング収率とナノパターン形成研究【JST・京大機械翻訳】
Sputtering yield and nanopattern formation study of BNSiO2 (Borosil) at elevated temperature relevance to Hall Effect Thruster
Parida Basanta Kumar
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Sooraj K.P.
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Hans Sukriti
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Hans Sukriti
(Homi Bhabha National Institute, BARC Training School Complex, Mumbai, Maharashtra 400094, India)
,
Pachchigar Vivek
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Pachchigar Vivek
(Homi Bhabha National Institute, BARC Training School Complex, Mumbai, Maharashtra 400094, India)
,
Augustine Sebin
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Augustine Sebin
(Homi Bhabha National Institute, BARC Training School Complex, Mumbai, Maharashtra 400094, India)
,
Remyamol T.
(Advanced Materials and Ceramics Division Material and Metallurgy Group, VSSC/ISRO, Thiruvananthapuram, Kerala 695022, India)
,
Ajith M.R.
(Advanced Materials and Ceramics Division Material and Metallurgy Group, VSSC/ISRO, Thiruvananthapuram, Kerala 695022, India)
,
Ranjan Mukesh
(Institute for Plasma Research, Gandhinagar, Gujarat 382428, India)
,
Ranjan Mukesh
(Homi Bhabha National Institute, BARC Training School Complex, Mumbai, Maharashtra 400094, India)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 514 ページ： 1-7 発行年： 2022年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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