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文献
J-GLOBAL ID：202202214332870336
整理番号：22A0563529
マイクロエレクトロニクス応用のための圧電LiNbO_3基板の硬度と強度に対する結晶方位の影響【JST・京大機械翻訳】
Effect of crystal orientation on the hardness and strength of piezoelectric LiNbO3 substrates for microelectronic applications
Gruber M.
(Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
,
Leitner A.
(Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
,
Kiener D.
(Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
,
Supancic P.
(Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
,
Bermejo R.
(Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz Josef Strasse 18, A-8700 Leoben, Austria)
資料名：
Materials & Design
(Materials & Design)
巻： 213 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： A0495B ISSN： 0264-1275 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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