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文献
J-GLOBAL ID：202202215563390864
整理番号：22A0780097
AlNベースSAW圧力センサのTCFに及ぼす圧力の影響【JST・京大機械翻訳】
The Influence of Pressure on the TCF of AlN-Based SAW Pressure Sensor
Pan Shuliang
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
,
Memon Maria Muzamil
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
,
Wan Jiang
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
,
Wang Tao
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
,
Zhang Wanli
(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China (UESTC), Chengdu, China)
資料名：
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻： 22 号： 4 ページ： 3097-3104 発行年： 2022年
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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