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文献
J-GLOBAL ID：202202216422862011
整理番号：22A0943485
低温オゾン再酸化アニーリングにより形成したSiC/SiO_2界面特性【JST・京大機械翻訳】
SiC/SiO2 interface properties formed by low-temperature ozone re-oxidation annealing
Yin Zhipeng
(Key Laboratory of Intelligent Control and Optimization for Industrial Equipment (Dalian University of Technology), Ministry of Education, School of Control Science and Engineering, Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 11602...)
,
Wei Shengsheng
(Key Laboratory of Intelligent Control and Optimization for Industrial Equipment (Dalian University of Technology), Ministry of Education, School of Control Science and Engineering, Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 11602...)
,
Bai Jiao
(Key Laboratory of Intelligent Control and Optimization for Industrial Equipment (Dalian University of Technology), Ministry of Education, School of Control Science and Engineering, Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 11602...)
,
Xie Weiwei
(Key Laboratory of Intelligent Control and Optimization for Industrial Equipment (Dalian University of Technology), Ministry of Education, School of Control Science and Engineering, Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 11602...)
,
Qin Fuwen
(State Key Laboratory of Materials Modification By Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), Dalian University of Technology, Dalian, 116024, China)
,
Wang Dejun
(Key Laboratory of Intelligent Control and Optimization for Industrial Equipment (Dalian University of Technology), Ministry of Education, School of Control Science and Engineering, Faculty of Electronic Information and Electrical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian, 11602...)
資料名：
Ceramics International
(Ceramics International)
巻： 48 号： 8 ページ： 10874-10884 発行年： 2022年
JST資料番号： H0705A ISSN： 0272-8842 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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