文献
J-GLOBAL ID:202202217061237960
整理番号:22A0389047
RF MEMS静電駆動同調コンデンサとその応用:レビュー【JST・京大機械翻訳】
RF MEMS electrostatically actuated tunable capacitors and their applications: a review
著者 (2件):
Khan Fahimullah
(Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia)
,
Younis Mohammad I
(Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
32
号:
1
ページ:
013002 (19pp)
発行年:
2022年
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)