前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：202202219448310771
整理番号：22A1091072
耐久性フレキシブルデバイスのための連続ナノ挿入によるポリイミド膜上の形状制御ミクロおよびナノパターンのバリおよびエッチフリー直接機械加工【JST・京大機械翻訳】
Burr- and etch-free direct machining of shape-controlled micro- and nanopatterns on polyimide films by continuous nanoinscribing for durable flexible devices
Oh Dong Kyo
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.)
,
Lee Wonseok
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Chae Hyoungseok
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Chun Hyunsoo
(Graduate Program of Energy Technology, School of Integrated Technology, Institute of Integrated Technology, Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju 61005, Republic of Korea.)
,
Lee Minyoung
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Kim Dong Ha
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Kim Joohoon
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.)
,
Choi Jaemin
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Hwang Sangwon
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Park Minyong
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Yeon Gyubeom
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Jung Sunmin
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
,
Rho Junsuk
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.)
,
Rho Junsuk
(Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea)
,
Ok Jong G.
(Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 257 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。