文献
J-GLOBAL ID:202202221754144574
整理番号:22A0779300
Argonマイクロ波プラズマの反射および透過電気パラメータのパワーおよび空間依存特性評価【JST・京大機械翻訳】
Power- and Spatial-Dependent Characterization of Reflection and Transmission Electric Parameters of an Argon Microwave Plasma
著者 (3件):
Schopp Christoph
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
,
Rohrbach Felix
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
,
Heuermann Holger
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
50
号:
2
ページ:
261-266
発行年:
2022年
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)