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文献
J-GLOBAL ID：202202221754144574
整理番号：22A0779300
Argonマイクロ波プラズマの反射および透過電気パラメータのパワーおよび空間依存特性評価【JST・京大機械翻訳】
Power- and Spatial-Dependent Characterization of Reflection and Transmission Electric Parameters of an Argon Microwave Plasma
Schopp Christoph
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
,
Rohrbach Felix
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
,
Heuermann Holger
(Institute for Microwave and Plasma Technology, Aachen University of Applied Sciences, Aachen, Germany)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 50 号： 2 ページ： 261-266 発行年： 2022年
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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