文献
J-GLOBAL ID:202202221901384286
整理番号:22A0909532
(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着 分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】
Photoactivated Ru chemical vapor deposition using (η3-allyl)Ru(CO)3X (X = Cl, Br, I): From molecular adsorption to Ru thin film deposition
著者 (4件):
Salazar Bryan G.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., Richardson, Texas 75080)
,
Brewer Christopher R.
(Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200)
,
McElwee-White Lisa
(Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200)
,
Walker Amy V.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., Richardson, Texas 75080)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
40
号:
2
ページ:
023404-023404-13
発行年:
2022年
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)