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J-GLOBAL ID:202202221901384286   整理番号:22A0909532

(η=η3-アリル)Ru(CO)_3X(X=Cl,Br,I)を用いた光活性化Ru化学蒸着 分子吸着からRu薄膜堆積まで【JST・京大機械翻訳】

Photoactivated Ru chemical vapor deposition using (η3-allyl)Ru(CO)3X (X = Cl, Br, I): From molecular adsorption to Ru thin film deposition
著者 (4件):
Salazar Bryan G.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., Richardson, Texas 75080)
Brewer Christopher R.
(Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200)
McElwee-White Lisa
(Department of Chemistry, University of Florida, Gainesville, Florida 32611-7200)
Walker Amy V.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., Richardson, Texas 75080)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻: 40  号:ページ: 023404-023404-13  発行年: 2022年 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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