文献
J-GLOBAL ID:202202223759674759
整理番号:22A1043681
ダイオードシステムにおける大面積電界エミッタ動作中のガス放出【JST・京大機械翻訳】
Outgassing during large area field emitter operation in the diode system
著者 (3件):
Filippov Sergey V.
(Ioffe Institute, 26 Politekhnicheskaya, St. Petersburg 194021, Russian Federation)
,
Kolosko Anatoly G.
(Ioffe Institute, 26 Politekhnicheskaya, St. Petersburg 194021, Russian Federation)
,
Popov Eugeni O.
(Ioffe Institute, 26 Politekhnicheskaya, St. Petersburg 194021, Russian Federation)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
40
号:
2
ページ:
024002-024002-6
発行年:
2022年
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)