文献
J-GLOBAL ID:202202227616115459
整理番号:22A0909232
小型マイクロ波プラズマ中和器における非Maxwell電子エネルギー分布の実験的特性評価【JST・京大機械翻訳】
Experimental characterization of non-Maxwellian electron energy distributions in a miniaturized microwave plasma neutralizer
著者 (6件):
Sekine H.
(Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Minematsu R.
(Department of Advanced Energy, The University of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8561, Japan)
,
Ataka Y.
(Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Ominetti P.
(Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Koizumi H.
(Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Komurasaki K.
(Department of Aeronautics and Astronautics, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
131
号:
9
ページ:
093302-093302-11
発行年:
2022年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)