文献
J-GLOBAL ID:202202227903525892
整理番号:22A0100960
イオンアシストまたはALDキャッピング層による真空-空気シフトからのEBE被覆の保護【JST・京大機械翻訳】
Protecting the EBE coatings from vacuum-air-shift by ion assistance or ALD capping layer
著者 (6件):
Ma Ping
(Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Keyuan Road 3, Chengdu, 610041, China)
,
Pu Yunti
(Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Keyuan Road 3, Chengdu, 610041, China)
,
Zhang Wei
(Shenzhen Gengxu Opto-Electronics Technology Ltd., Dafu Road A8, Shenzhen, 518110, China)
,
Die Junhui
(Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Keyuan Road 3, Chengdu, 610041, China)
,
Zhang Mingxiao
(Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Keyuan Road 3, Chengdu, 610041, China)
,
Liu Hao
(Sichuan Minzu College, Wenhua Road 4, Kangding, 626001, China)
資料名:
Ceramics International
(Ceramics International)
巻:
48
号:
2
ページ:
2670-2676
発行年:
2022年
JST資料番号:
H0705A
ISSN:
0272-8842
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)