文献
J-GLOBAL ID:202202229275866720
整理番号:22A0909525
プラズマ増強原子層蒸着により成長させたAlN膜における酸素取込み【JST・京大機械翻訳】
Oxygen incorporation in AlN films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition
著者 (2件):
Gungor Nese
(Physics Department, Marmara University, Goztepe, Istanbul 34722, Turkey)
,
Alevli Mustafa
(Physics Department, Marmara University, Goztepe, Istanbul 34722, Turkey)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
40
号:
2
ページ:
022404-022404-10
発行年:
2022年
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)