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文献
J-GLOBAL ID：202202232433364226
整理番号：22A1148118
原料間歇導入を伴うタンデム型Ar+H2変調熱プラズマで生成したSiナノ材料特性評価
Characterization of Si Nanomaterials fabricated by Tandem Ar+H2 Modulated Thermal Plasma with Intermittent Feedstock Feeding.
長瀬有理奈
(金沢大)
,
古川颯大
(金沢大)
,
不破知哉
(金沢大)
,
田中康規
(金沢大)
,
中野裕介
(金沢大)
,
石島達夫
(金沢大)
,
太田遼至
(東大)
,
神原淳
(東大)
,
末安志織
(日清製粉グループ本社)
,
渡邉周
(日清製粉グループ本社)
,
中村圭太郎
(日清製粉グループ本社)
資料名：
電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)
(Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2022 ページ： ROMBUNNO.1-094 発行年： 2022年03月01日
JST資料番号： S0653B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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