文献
J-GLOBAL ID:202202232662560223
整理番号:22A0696165
半導体製造における変化認定フレームワーク【JST・京大機械翻訳】
Change Qualification Framework in Semiconductor Manufacturing
著者 (2件):
Dass Sasitharan Nair
(School of Mechanical Engineering, Engineering Campus, Universiti Sains Malaysia, Nibong Tebal, Malaysia)
,
Feng Chin Jeng
(School of Mechanical Engineering, Engineering Campus, Universiti Sains Malaysia, Nibong Tebal, Malaysia)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
35
号:
1
ページ:
87-101
発行年:
2022年
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)