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文献
J-GLOBAL ID：202202232731376364
整理番号：22A0696168
FOUP(Front開口統一ポッド)への水分浸透防止のためのパラメトリック最適化【JST・京大機械翻訳】
Parametric Optimization for Moisture Infiltration Prevention Into a FOUP (Front Opening Unified Pod)
Lin Tee
(Department of Energy and Refrigerating Air-Conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan)
,
Ali Zargar Omid
(Department of Energy and Refrigerating Air-Conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan)
,
Mallillin Andreaross Manaloto
(Department of Energy and Refrigerating Air-Conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan)
,
Hu Shih-Cheng
(Department of Energy and Refrigerating Air-Conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan)
,
Leggett Graham
(Marketing Department, LI-COR Biosciences, Lincoln, NV, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 35 号： 1 ページ： 118-127 発行年： 2022年
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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