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文献
J-GLOBAL ID：202202235762832032
整理番号：22A1082432
ナノインプリントスタンプの特徴サイズの調整:ナノインプリントリソグラフィーの柔軟性を高める方法【JST・京大機械翻訳】
Tuning the feature size of nanoimprinting stamps: A method to enhance the flexibility of nanoimprint lithography
Golibrzuch Matthias
(Chair of Nano and Quantum Sensors, Department of Electrical and Computer Engineering, Technical University of Munich, 85748 Garching, Germany)
,
Maier Thomas L.
(Nonequilibrium Chemical Physics, Department of Physics, Technical University of Munich, 85748 Garching, Germany)
,
Feil Moritz J.
(Nonequilibrium Chemical Physics, Department of Physics, Technical University of Munich, 85748 Garching, Germany)
,
Krischer Katharina
(Nonequilibrium Chemical Physics, Department of Physics, Technical University of Munich, 85748 Garching, Germany)
,
Becherer Markus
(Chair of Nano and Quantum Sensors, Department of Electrical and Computer Engineering, Technical University of Munich, 85748 Garching, Germany)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 131 号： 12 ページ： 124301-124301-11 発行年： 2022年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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