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文献
J-GLOBAL ID：202202236408537584
整理番号：22A0958551
酸素RF放電における負イオン密度に対する磁気フィルタ位置の影響【JST・京大機械翻訳】
Influence of magnetic filter position on negative ion density in oxygen RF discharge
Sharma N
(Centre of Plasma Physics-Institute for Plasma Research, Tepesia, Sonapur, Kamrup, Assam 782402, India)
,
Chakraborty M
(Centre of Plasma Physics-Institute for Plasma Research, Tepesia, Sonapur, Kamrup, Assam 782402, India)
,
Mukherjee A
(Centre of Plasma Physics-Institute for Plasma Research, Tepesia, Sonapur, Kamrup, Assam 782402, India)
,
Saha P K
(Centre of Plasma Physics-Institute for Plasma Research, Tepesia, Sonapur, Kamrup, Assam 782402, India)
資料名：
Plasma Research Express
(Plasma Research Express)
巻： 4 号： 1 ページ： 015005 (11pp) 発行年： 2022年
JST資料番号： W5581A ISSN： 2516-1067 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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