文献
J-GLOBAL ID:202202244862333337
整理番号:22A1154009
窒化アルミニウム層上の転位分析のための欠陥選択的液滴エッチング剤としての溶融水酸化バリウム【JST・京大機械翻訳】
Molten Barium Hydroxide as Defect Selective Drop Etchant for Dislocation Analysis on Aluminum Nitride Layers
著者 (9件):
Matiwe Lucinda
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Hartmann Carsten
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Cancellara Leonardo
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Bickermann Matthias
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Klump Andrew
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Wollweber Juergen
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
,
Hagedorn Sylvia
(Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut fuer Hochstfrequenztechnik, Gustav-Kirchhoff-strasse 4, D-12489, Berlin, Germany)
,
Weyers Markus
(Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut fuer Hochstfrequenztechnik, Gustav-Kirchhoff-strasse 4, D-12489, Berlin, Germany)
,
Straubinger Thomas
(Leibniz-Institut fuer Kristallzuechtung (IKZ), Max-Born-Strasse 2, D-12489, Berlin, Germany)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
219
号:
7
ページ:
e2100707
発行年:
2022年
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)