文献
J-GLOBAL ID:202202249757273776
整理番号:22A1048962
半導体製造施設における拡散炉のジョブスケジューリング【JST・京大機械翻訳】
Job scheduling of diffusion furnaces in semiconductor fabrication facilities
著者 (4件):
Wu Kan
(Department of Industrial and Business Management, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
,
Huang Edward
(Systems Engineering and Operations Research Department, George Mason University, Fairfax, VA, United States of America)
,
Wang Mengchang
(Machine Learning Lab of Alibaba, Hangzhou, China)
,
Zheng Meimei
(School of ME, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
資料名:
European Journal of Operational Research
(European Journal of Operational Research)
巻:
301
号:
1
ページ:
141-152
発行年:
2022年
JST資料番号:
A0547A
ISSN:
0377-2217
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)