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文献
J-GLOBAL ID:202202250941534285   整理番号:22A0848396

二重スタックAlNセンサとアクチュエータによるAFMマイクロカンチレバーのQ制御【JST・京大機械翻訳】

Q Control of an AFM Microcantilever With Double-Stack AlN Sensors and Actuators
著者 (3件):
Mahmoodi Nasrabadi Hazhir
(Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
Mahdavi Mohammad
(Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
Moheimani S. O. Reza
(Erik Johnsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)

資料名:
IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)

巻: 22  号:ページ: 3957-3964  発行年: 2022年 
JST資料番号: W1318A  ISSN: 1530-437X  CODEN: ISJEAZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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