文献
J-GLOBAL ID:202202260520278642
整理番号:22A1043689
Moおよび非晶質MoO_xの光学特性および金属に対する反射防止膜への応用【JST・京大機械翻訳】
Optical properties of Mo and amorphous MoOx, and application to antireflection coatings for metals
著者 (5件):
Tsu David V.
(Mackinac Technology Co., Grand Rapids, Michigan 49546, USA)
,
Muehle Matthias
(Fraunhofer USA CMW, East Lansing, Michigan 48824, USA)
,
Kostenbauer Harald
(Plansee SE, Reutte 6600, Austria)
,
Linke Christian
(Plansee SE, Reutte 6600, Austria)
,
Winkler Jorg
(Plansee SE, Reutte 6600, Austria)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
40
号:
2
ページ:
022209-022209-17
発行年:
2022年
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)