文献
J-GLOBAL ID:202202260748119366
整理番号:22A1206882
バイオセンサ・触覚センサ応用に向けたカンチレバーアレイチップの設計と試作評価
Design and Prototyping of Cantilever-array Chip for Biological or Tactile Sensor
著者 (7件):
水戸部龍介
(新潟大)
,
長谷川拓海
(新潟大)
,
高橋悠矢
(京都工繊大)
,
紙谷虎太郎
(京都工繊大)
,
安部隆
(新潟大)
,
野田実
(京都工繊大)
,
寒川雅之
(新潟大)
資料名:
電気学会研究会資料(Web)
(Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号:
TER-22-029.031-041/MSS-22-001.003-013 交通・電気鉄道研究会/マイクロマシン・センサシステム研究会
ページ:
25-29 (WEB ONLY)
発行年:
2022年02月28日
JST資料番号:
U2358A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)