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文献
J-GLOBAL ID：202202261583290616
整理番号：22A0788393
NEMSデバイスのCD-SEMSを予測するための深層学習【JST・京大機械翻訳】
Deep Learning for Predicting CD-SEMS of NEMS Devices
Davaji Benyamin
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Cook Peter A
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Kor Bahar
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Luo Ziwang
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Chen Jiaxian
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Clark Jeremy
(Cornell University,Cornell Nanoscale Science and Technology Facility,Ithaca,New York)
,
Bordonaro Garry
(Cornell University,Cornell Nanoscale Science and Technology Facility,Ithaca,New York)
,
Genova Vincent
(Cornell University,Cornell Nanoscale Science and Technology Facility,Ithaca,New York)
,
Heuser Marco
(Hitachi High Technologies America, Inc)
,
Ayres Steve
(Hitachi High Technologies America, Inc)
,
Ober Christopher K
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Doerschuk Peter C
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
,
Lal Amit
(School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,Ithaca,New York)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022 号： MEMS ページ： 462-465 発行年： 2022年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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