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文献
J-GLOBAL ID：202202262416352971
整理番号：22A1058868
単結晶シリコン複合微小共振器のマイクロ放電加工【JST・京大機械翻訳】
Micro electrical discharge milling of a monocrystalline silicon complex micro-cavity
Gong Sirui
(School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Gong Sirui
(Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing of Ministry of Education, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Han
(School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Han
(Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing of Ministry of Education, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Tian Chuan
(School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Tian Chuan
(Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing of Ministry of Education, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Zhenlong
(School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Zhenlong
(Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing of Ministry of Education, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Yukui
(School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
,
Wang Yukui
(Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing of Ministry of Education, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
資料名：
Materials and Manufacturing Processes
(Materials and Manufacturing Processes)
巻： 37 号： 6 ページ： 681-692 発行年： 2022年
JST資料番号： W2135A ISSN： 1042-6914 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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