文献
J-GLOBAL ID:202202264834555763
整理番号:22A0794541
近赤外トモグラフィーを用いたCzochralski-シリコンの結晶構造品質の評価【JST・京大機械翻訳】
Evaluation of crystalline structure quality of Czochralski-silicon using near-infrared tomography
著者 (2件):
Jensen Mathias N.
(Department of Physics and Technology, UiT The Arctic University of Norway, Hansine Hansens veg 18, Tromso 9019, Norway)
,
Helleso Olav Gaute
(Department of Physics and Technology, UiT The Arctic University of Norway, Hansine Hansens veg 18, Tromso 9019, Norway)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
583
ページ:
Null
発行年:
2022年
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)