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文献
J-GLOBAL ID：202202264986338149
整理番号：22A0152903
標準漏れ要素としてのチューブ上のナノ流体チップ【JST・京大機械翻訳】
Nanofluidic chip on tube as standard leak elements
Lin Wenyu
(School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China)
,
Zhang Huzhong
(Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China)
,
Xi Zhenhua
(Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China)
,
Bi Hailin
(School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China)
,
Luo Yan
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Wang Kuibo
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Cao Qing
(School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China)
,
Wang Xudi
(School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China)
,
Wu Xiaobin
(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
資料名：
Measurement
(Measurement)
巻： 187 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： W0315B ISSN： 0263-2241 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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