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文献
J-GLOBAL ID：202202265840751243
整理番号：22A0004209
酸素プラズマ支援によるZrとHfターゲットのパルスレーザ共アブレーションにより蒸着したZr_xHf_1-xO_2膜の構造と光学特性【JST・京大機械翻訳】
Structure and optical properties of ZrxHf1-xO2 films deposited by pulsed laser co-ablation of Zr and Hf targets with the assistance of oxygen plasma
Yao Chujun
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Zhang Dong
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Wu Li
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Xu Ning
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Sun Jian
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Sun Jian
(Yiwu Research Institute of Fudan University, Yiwu, 322000, Zhejiang, China)
,
Sun Jian
(Key Laboratory for Micro and Nano Photonic Structures (MOE), Fudan University, Shanghai, 200433, China)
,
Wu Jiada
(Engineering Research Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing (Shanghai), Department of Optical Science and Engineering, School of Information Science and Technology, Fudan University, Shanghai, 200433, China)
資料名：
Ceramics International
(Ceramics International)
巻： 48 号： 1 ページ： 587-596 発行年： 2022年
JST資料番号： H0705A ISSN： 0272-8842 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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