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文献
J-GLOBAL ID：202202265939217483
整理番号：22A0433667
斜めイオンビームスパッタリングによるシリコンパターニングにおける金属供給経路の役割【JST・京大機械翻訳】
Role of the metal supply pathway on silicon patterning by oblique ion beam sputtering
Redondo-Cubero A.
(Grupo de Electronica y Semiconductores, Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Madrid, Spain)
,
Redondo-Cubero A.
(Centro de Micro-Analisis de Materiales, Universidad Autonoma de Madrid, C/ Faraday 2, 28049 Madrid, Spain)
,
Palomares F.J.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
,
Lorenz K.
(Instituto Superior Tecnico, Universidade de Lisboa, Estrada Nacional 10, km 139.7, 2695-066 Bobadela LRS, Portugal)
,
Lorenz K.
(Instituto de Engenharia de Sistemas e Computadores - Microsistemas e Nanotecnologia (INESC- MN), Rua Alves Redol 9, 1000-029 Lisboa, Portugal)
,
Rubio-Zuazo J.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
,
Rubio-Zuazo J.
(SpLine Spanish CRG Beamline at the ESRF, ESRF-BP 220-38043 Grenoble, Cedex, France)
,
Huebner R.
(Institute of Ion Beam Physics and Materials Research, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, D-01328 Dresden, Germany)
,
Mompean F.J.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
,
Garcia-Hernandez M.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
,
Castro G.R.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
,
Castro G.R.
(SpLine Spanish CRG Beamline at the ESRF, ESRF-BP 220-38043 Grenoble, Cedex, France)
,
Vazquez L.
(Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas, 28049 Madrid, Spain)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 580 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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