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文献
J-GLOBAL ID：202202267913594970
整理番号：22A0217368
プレセラミックポリマから作製した導電性シリコンオキシカーバイド薄膜【JST・京大機械翻訳】
Electrically conductive silicon oxycarbide thin films prepared from preceramic polymers
Ricohermoso Emmanuel III
(Fachbereich Material- und Geowissenschaften, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany)
,
Klug Florian
(Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany)
,
Schlaak Helmut
(Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany)
,
Riedel Ralf
(Fachbereich Material- und Geowissenschaften, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany)
,
Ionescu Emanuel
(Fachbereich Material- und Geowissenschaften, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany)
資料名：
International Journal of Applied Ceramic Technology
(International Journal of Applied Ceramic Technology)
巻： 19 号： 1 ページ： 149-164 発行年： 2022年
JST資料番号： W1929A ISSN： 1546-542X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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