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文献
J-GLOBAL ID：202202269526322762
整理番号：22A0478327
複雑なトポロジー基板上の物理蒸着の原子論的モデリング【JST・京大機械翻訳】
Atomistic modeling of physical vapor deposition on complex topology substrates
Eberhardt Michael G.
(Mork Family Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Southern California, Los Angeles, CA 90089, United States)
,
Hodge Andrea M.
(Mork Family Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Southern California, Los Angeles, CA 90089, United States)
,
Hodge Andrea M.
(Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Southern California, Los Angeles, CA 90089, USA)
,
Branicio Paulo S.
(Mork Family Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Southern California, Los Angeles, CA 90089, United States)
資料名：
Computational Materials Science
(Computational Materials Science)
巻： 203 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： W0443A ISSN： 0927-0256 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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