文献
J-GLOBAL ID:202202270760175315
整理番号:22A0950049
相互キャリブレーション法による極薄酸化膜の厚さ測定に関するレビュー【JST・京大機械翻訳】
Review on the thickness measurement of ultrathin oxide films by mutual calibration method
著者 (1件):
Kim Kyung Joong
(Surface Analysis Team, Korea Research Institute of Standards and Science, Daejeon, South Korea)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
54
号:
4
ページ:
405-416
発行年:
2022年
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)