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文献
J-GLOBAL ID：202202277786198308
整理番号：22A0747056
MEMSベース圧電センサ用のZnOおよびAlN薄膜の構造,機械的および電気的性質の比較研究【JST・京大機械翻訳】
A comparative study of structural, mechanical & electrical properties of ZnO and AlN thin films for MEMS based piezoelectric sensors
Srivastava Vinay Kumar
(Semi-conductor Laboratory, Department of Space, Mohali, Punjab, India)
,
Singh Jaspreet
(Semi-conductor Laboratory, Department of Space, Mohali, Punjab, India)
,
Kumar Parlad
(Department of Mechanical Engineering, Punjabi University, Patiala, Punjab, India)
,
Arora Sataypal Singh
(Semi-conductor Laboratory, Department of Space, Mohali, Punjab, India)
,
Singh Satinder Pal
(Semi-conductor Laboratory, Department of Space, Mohali, Punjab, India)
,
Singh Surinder
(Semi-conductor Laboratory, Department of Space, Mohali, Punjab, India)
資料名：
Materials Research Express
(Materials Research Express)
巻： 9 号： 2 ページ： 026402 (13pp) 発行年： 2022年
JST資料番号： W5570A ISSN： 2053-1591 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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