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文献
J-GLOBAL ID：202202280591497019
整理番号：22A0788406
MEMS PZTマイクロミラー作動および機械的角度センシングのためのウエハレベルにおける電気光学試験ソリューション【JST・京大機械翻訳】
Electro-Optical Testing Solution at Wafer Level for MEMS PZT Micromirrors Actuation and Mechanical Angle Sensing
Bitta Alessandro Della
(STMicroelectronics, AMS Group,Agrate Brianza,ITALY)
,
Rossi Marco
(STMicroelectronics, AMS Group,Agrate Brianza,ITALY)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022 号： MEMS ページ： 515-518 発行年： 2022年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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