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文献
J-GLOBAL ID：202202281365976704
整理番号：22A0906348
固定凝集ダイヤモンド研磨パッド(FADAP)によるルーズアルミナ研磨剤支援サファイアラッピングのトライボロジー効果【JST・京大機械翻訳】
Tribological effects of loose alumina abrasive assisted sapphire lapping by a fixed agglomerated diamond abrasive pad (FADAP)
Chen Jiapeng
(National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China)
,
Chen Jiapeng
(Research Center for Advanced Micro-/Nano- Fabrication Materials, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai, 201620, PR China)
,
Peng Yanan
(National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China)
,
Wang Zhankui
(School of Mechanical & Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang, 453003, PR China)
,
Sun Tao
(Research Center for Advanced Micro-/Nano- Fabrication Materials, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai, 201620, PR China)
,
Su Jianxiu
(School of Mechanical & Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang, 453003, PR China)
,
Zuo Dunwen
(National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China)
,
Zhu Yongwei
(National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 143 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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